氣冷羅茨泵的停機過程并非簡單斷電，需遵循科學流程，避免因操作不當導致設備損壞、真空系統污染或倒吸等問題。以下從停機前準備、停機核心流程、停機后維護三方面，詳細說明關鍵步驟與注意要點。

一、停機前：做好狀態核查與環境準備

停機前需先確認兩項核心條件，為安全停機奠定基礎。首先，檢查真空系統狀態，需確保系統內無正在進行的工藝作業（如鍍膜、蒸餾等），若仍有物料反應或氣體抽送，需先完成工藝收尾，關閉進氣閥門，讓泵空載運行 5-10 分鐘，將系統內殘留氣體充分抽除，避免停機后氣體滯留導致管道腐蝕或雜質沉積。其次，核查設備運行參數，通過控制面板確認泵體溫度（應低于 80℃）、冷卻氣體壓力（0.3-0.5MPa）、電機電流等指標均處于正常范圍，若存在溫度過高、壓力異常等情況，需先排查故障，待參數恢復正常后再停機，防止故障擴大。

此外，需提前準備好停機工具與防護用品，如扳手（用于關閉閥門）、防塵罩（停機后覆蓋泵體），若處理過腐蝕性或有毒氣體，還需準備防護手套與呼吸器，避免后續操作中接觸殘留有害物質。

二、停機中：遵循 “先斷負載、后斷動力” 的核心流程

停機操作需嚴格按順序進行，重點防范倒吸與部件損傷，具體分四步：

先緩慢關閉泵體進氣閥門，切斷氣體來源；隨后關閉冷卻氣體供應閥門，若冷卻系統為獨立風機，需待泵體溫度降至 60℃以下后再關閉風機，避免泵體因突然斷冷導致局部過熱。操作閥門時需勻速轉動，防止因閥門驟關產生壓力沖擊，損壞管道密封件。

關閉進氣閥門 3-5 分鐘后，按下電機停止按鈕，切斷泵體電源。停機后需觀察轉子慣性運轉狀態，正常情況下轉子應平穩減速，無異常摩擦噪音或卡頓；若出現轉速驟降、異響，需立即檢查是否存在轉子卡滯或軸承故障，禁止強行再次啟動。

停機后 10 分鐘內，需開啟系統預設的防倒吸閥門（如單向閥、破空閥），緩慢向真空系統內通入干燥惰性氣體（如氮氣），將系統壓力從高真空狀態平穩恢復至大氣壓，避免因系統內外壓力差過大，導致空氣或管道內積液倒吸入泵體，污染轉子與密封件。充氣過程中需控制壓力上升速率，每分鐘不超過 5kPa，防止壓力驟升沖擊設備。

若氣冷羅茨泵與前級泵（如旋片泵）聯動運行，需待氣冷羅茨泵完全停止轉動、系統壓力恢復至大氣壓后，再按前級泵停機流程關閉前級泵，最后切斷前級泵電源與輔助系統（如潤滑油循環泵），避免前級泵先停機導致氣冷羅茨泵排氣口壓力升高，引發轉子反轉。

三、停機后：做好檢查維護與環境防護

停機后需及時開展三項維護工作，保障設備下次穩定啟動。一是清潔與檢查，用干燥抹布擦拭泵體表面灰塵，重點檢查冷卻氣路管道是否有泄漏（可涂抹肥皂水檢測）、密封件是否存在老化裂紋，若處理過含粉塵氣體，需拆開進氣過濾器，清理濾芯內殘留顆粒物，必要時更換濾芯；二是狀態記錄，在設備運行臺賬中記錄停機時間、停機前運行參數、是否出現異常情況，為后續故障排查提供依據；三是防護措施，若長期停機（超過 7 天），需在泵體進氣口與排氣口安裝防塵蓋，防止灰塵進入；同時每周啟動泵體空載運行 15 分鐘，潤滑軸承與密封件，避免部件長期靜置導致潤滑油干結。

此外，需注意停機后的環境管理，保持設備周邊通風干燥，避免腐蝕性氣體或液體濺落泵體，若環境溫度低于 5℃，需為泵體加裝保溫罩，防止潤滑油凝固或管道結冰。

遵循以上步驟操作，可有效降低氣冷羅茨泵停機過程中的故障風險，延長設備使用壽命。若停機后發現泵體存在異常（如密封件滲漏、轉子異響），需及時聯系專業人員檢修，禁止帶故障再次啟動。